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電子光學潔凈工程

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電子光學潔凈工程


電子光學潔凈工程

電子光電行業,由于其人員密集性,而人員又是潔凈室Z主要的污染源,所以在設計、人員動向、管理、節能等方面都要做到全面的考量。


潔凈工程


光學微電子凈化工程一般包括:

1、 潔凈生產區

2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)

3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)

4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)


潔凈工程


光學微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌

等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程,即可達到凈化目的。

光學微電子凈化工程凈化參數

換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。

溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。

噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。

光學微電子凈化工程結構材料

1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。

3.送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。

4.高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔

隨著集成電路光刻等工藝發展,其生產環境對潔凈度要求也越來越高,CLASS 100/10級,甚至1級。

我司設計團隊將根據客戶所屬產業實際情況、工藝要求、管理需求,按節能環保的要求,提供潔凈室及配套系統整廠規劃設計。

1、Class 1K 、10K 、100K分產品需求有不同等級無塵室;

2、壓縮空氣、有機排氣等生產配套系統;


潔凈工程

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